LCP-25 эксперименталдык эллипсометри

Кыскача сүрөттөмө:

Кол менен башкарылуучу эллиптикалык поляриметр пленканын калыңдыгын жана сынуу көрсөткүчүн өлчөө үчүн өчүү ыкмасын колдонот жана сыноо процессинин четтөөсүн жана четтөө бурчун кол менен жөнгө салат. Эллипсометрия катуу негизге диэлектрикалык жука пленканы өлчөөдө кеңири колдонулат. Пленканын калыңдыгын өлчөө ыкмасында аны эң жука жана эң жогорку тактык менен өлчөөгө болот.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Продукциянын чоо-жайы

Продукциянын тегдери

Техникалык мүнөздөмөлөрү

Сүрөттөмө	Техникалык мүнөздөмөлөрү
Калыңдыкты өлчөө диапазону	1 нм ~ 300 нм
Окуя бурчу диапазону	30º ~ 90º, ката ≤ 0.1º
Поляризатор жана анализатордун кесилиш бурчу	0º ~ 180º
Диск бурчтук масштабы	Ар бир шкала боюнча 2º
Верньенин мин. окуусу	0,05º
Оптикалык борбордун бийиктиги	152 мм
Жумуш этабынын диаметри	Φ 50 мм
Жалпы өлчөмдөр	730x230x290 мм
Салмак	Болжол менен 20 кг

Бөлүктөрдүн тизмеси

Сүрөттөмө	Сан
Эллипсометр бирдиги	1
Ге-Не лазери	1
Фотоэлектрдик күчөткүч	1
Фото клетка	1
Кремний субстратындагы кремний пленкасы	1
Анализ программасы CDси	1
Колдонмо	1